スウェージロック・セミコンダクター・サービス・カンパニー
超高純度フルオロポリマー逆止弁、CHP シリーズを発表

～Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを実現～

2005年1月25日

世界最高品質の流体システム・コンポーネントを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、社長：アーサー・Ｆ・アントン）の戦略事業体である、スウェージロック・セミコンダクター・サービス・カンパニー（米国カリフォルニア州サンタクララ、代表：フィリップ・I・ロバーツ）は、高性能プラスチック・バルブ製品の新たなラインナップとして、「超高純度フルオロポリマー逆止弁、CHP シリーズ」 を発表しました。同製品は、現在国内に8社あるスウェージロック指定販売会社を通じて販売が開始されます。

CHPシリーズ・バルブは、Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを可能にしました。また、ポペットとそのサポート部の形状により、流体の乱流を低減させ、溜り部分を排除し、圧力損失を最小限に抑えています。さらに、クラッキング圧力と再シール圧力が低く、独特な構造の外部シールにより、漏れのないシール性能を実現しました。

同製品は、ボディをはじめ、接液・接ガス部の材質に、次世代PTFE およびPFA を採用しており、SEMI F57-0301 に適合しています。エンド・コネクションは、スーパー300 タイプピラーフィッティング®（日本ピラー工業株式会社 本社：大阪府）、またはフレアー継手が供給可能です。

スウェージロック・セミコンダクター・サービス・カンパニーは、本社を米国カリフォルニア州サンタクララに置き、製造および流通拠点をオハイオ州クリーブランド近郊に構えています。同社はスウェージロック社の戦略事業体で、全世界の半導体製造業界が必要とする流体システム・コンポーネント技術の開発、製品製造およびマーケティングを行っています。