安全な製品の選定について:
システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。 機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。
ご注意:
他社部品との混用や互換は絶対に行わないでください。
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Swagelok®超高純度用 フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)、CHPシリーズ

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日本スウェージロックFST株式会社
+81 (0)798-28-6300
info@nsfst.swagelok.com

 

Swagelok®超高純度用 フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)、CHPシリーズ

超高純度用 フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)、CHPシリーズ

超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力で、接液・接ガス部コンポーネントは、超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。



仕様

最高使用圧力
流体温度
ボディ材質
• 小(Sサイズ)

• 中(Mサイズ)
最大流量係数(Cv値)
クラッキング圧力
• 小(Sサイズ)
• 中(Mサイズ)
再シール圧力
エンド・コネクション
• タイプ

• サイズ


0.55 MPa
10~85°C

デュポン®・テフロン®(次世代PTFE)
PFA
4.1

0.011 MPa未満
0.007 MPa未満
0.004 MPaまで

フレアー継手、スーパー300タイプピラーフィッティング®
小(Sサイズ):1/4 インチ、3/8 インチ、6 mm、10 mm
中(Mサイズ):1/2 インチ、3/4 インチ

その他のプラスチック製品

PFA継手
PFA チューブ
PFA プラグ・バルブ
PFAニードル・バルブ
超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ

特徴

  • 低いクラッキング圧力および再シール圧力
  • ポペット超高純度用逆止弁断面図
    • Oリングを使用していないため、優れた清浄度を維持
    • 曲線部がなだらかなため、乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制
  • 外部シール
    • 突起部とみぞ部が噛み合ってシールを形成
    • 熱サイクルや高圧用途においても、漏れのない優れたシール性能
  • スプリング
    • 非汚染性PFA材質を使用
    • バルブはどの向きにでも取り付け可能
  • 確実なストッパー
    • 圧縮によるスプリングの硬化を防止
    • スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減
  • リテイナー
    • ボディ・サイズが小(Sサイズ)の場合:確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現
    • ボディ・サイズが中(Mサイズ)の場合:流れを最大限化し、かつ差圧を低減するデザイン

オプション

  • 標準のPVDF製ナットの代わりに使用可能なPFA製フレアー継手用ナット
  • ISO、NPT、その他のエンド・コネクション
  • ボディ・サイズが中(Mサイズ)でエンド・コネクションがスーパー300タイプピラーフィッティングのバルブ

テスト

超高純度用逆止弁には、工場にてシートおよび外部のリーク・テストを全品に行っています。


クリーニング/パッケージング

超高純度用逆止弁には、超高純度流体システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 Section 11に準拠したクリーニングおよびパッケージングを全品に行っています。

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