ダイヤフラム･バルブ、DL／DSシリーズ

Swagelok® ダイヤフラム・バルブ DL／DSシリーズは、パッキンを用いておらず、耐圧部材がすべて金属の高純度および超高純度用バルブです。最高使用圧力は24.1 MPaです。

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ　LDシリーズ

Swagelok® ダイヤフラム・バルブ　LDシリーズは、流量係数（Cv値）が13まであり、ボディ材質、形状を豊富に取り揃えているため、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、およびアイソレーション用などさまざまな用途に対応することができます。

高性能スプリングレス･ダイヤフラム･バルブ、DPシリーズ

316L VIM-VARステンレス鋼製のSwagelok® ダイヤフラム・バルブ　DPシリーズは、さまざまな超高純度用途に適しています。

大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ　DFシリーズは、さまざまな超高純度用途および大流量用途向けに設計されています。流量係数が0.62で大流量用エンド・コネクションを使用することができます。

Swagelok® ALD（原子層蒸着）ダイヤフラム・バルブ

Swagelok ALD（原子層蒸着）ダイヤフラム･バルブは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数は0.62で、ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするための高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイドを備えています。

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。空気式、1/4回転手動式2方タイプおよび3方タイプの締め切り用バルブ、流量調節型／流量調節機能付きバイパス型、カスタム・マニホールドなど、さまざまな形状のDRPシリーズ･バルブを取り揃えています。

Swagelok® サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ

厳しい温度調節に伴い、近年は高い温度のプリカーサー（最高温度：220℃）を使用する用途が増加しています。システム設計者は、ガス・システム全体がこうした高温環境を正確に制御できるようにオーブン・エンクロージャーを選定する可能性があります。だからこそ、高温環境に完全に適応するバルブ（ボディ／アクチュエーターを含む）が必要になるのです。

このダイヤフラム・バルブは高速での開閉が可能です。最大流量係数（Cv値）は0.60で、ALD（原子層蒸着）／プリカーサー供給用途における性能を最適にするために220℃までの高温環境に対応することができます。サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのアクチュエーターには空気作動式／手動式があり、豊富なエンド・コネクション（1/4 インチ、1/8 インチ）を取り揃えています。