用途

Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ　 DRPシリーズは、薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合するように製造されており、以下のようなシステムでの使用に適しています。

• 反応性の高いCMPスラリー・システム
• 超純水を使用するシステム
• 薬液のバルク供給システム
• 反応性の高い酸、アルカリなどの化学物質を使用するシステム

特徴

• 優れた流路（特許）
  • たまり部分を最小限に抑える半球形のバルブ内部および独自の形状のダイヤフラム
  • 接液・接ガス表面は、素早く清浄な状態になり、プロセス流体やコンタミネーションの残留を防止
  • 流体のせん断を最小限に抑え、スラリーの凝集を低減する流路
• 長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム
  • 次世代PTFE製ダイヤフラムにより、耐久性およびシール性に優れ、かつサイクル・ライフが向上
  • 開閉時の応力を最小限に抑える次世代PTFE製ダイヤフラムの形状（特許）
• 高性能を実現したデザイン
  • ダイヤフラムの縁（特許）により、バルブ内部を密封
  • ダイヤフラムの曲面を厚くし、酸が透過する可能性を低減
  • プロセス流体へのコンタミネーション発生を最小限に抑えるデザイン
  • 接液・接ガス部への金属部品の露出なし
  • 締め切り動作をソフトにし、システムへの衝撃圧やパーティクルの発生、シール時におけるシート部分の損傷を防止すると同時に、材料のクリープ（受けた応力によって生じる変形）を最小限に抑えるスプリング
  • バルブの開閉状態の確認が可能
  • ダイヤフラムは容易に交換できるため、現場でのメンテナンスが容易

テスト

DRPシリーズ超高純度用ダイヤフラム･バルブには､ 工場にて全品にリーク・テストを行っています。

クリーニング／パッケージング

DRPシリーズ超高純度用ダイヤフラム･バルブには､ 超高純度用流体システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に基づいたクリーニングおよびパッケージングを全品に行っています。

オプション

• 手動式バルブ／空気作動式バルブ流量調節型／流量調節機能付きバイパス型
• 一体型ロッキング・ハンドル付きバルブ
• カスタム･バルブ・マニホールド
• スナップ式（はめ込み式）取り付け用ブラケット
• 標準のPVDF製ナットの代わりに、PFA製フレアー継手用ナットもご使用いただけます。
• ダイヤフラム交換キットは、配管ラインに取り付けたままでバルブのメンテナンスを迅速かつ容易に行うことができます。
• ISO、NPT、その他のエンド･コネクションを使用できます。

バルブ流量調節型／ 流量調節機能付き バイパス型	一体型ロッキング・ハンドル	カスタム･マニホールド