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高純度用ガス圧力レギュレーター ― コンパクトな大流量用HFシリーズ
Swagelok® 高純度用ガス圧力レギュレーター HFシリーズは、ガス作動式圧力感知アセンブリーによって、広域の一次側圧力範囲において、二次側圧力を正確に調整します。
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仕様
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| 使用圧力範囲 |
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| • 一次側 |
真空~7.00 MPa、真空~20.6 MPa |
| • 二次側 |
真空~1.03 MPa |
| プリセット二次側圧力 |
0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、
0.34 MPa、0.55 MPa |
| 使用温度範囲 |
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| • 操作時 |
-23~65℃ |
| • ベークアウト時 |
150℃ |
| 最大流量 |
300 std L/min |
詳細
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特殊用途レギュレーター

特徴
- コンパクトで大流量に対応するデザインは、従来のダイヤフラム・タイプ圧力レギュレーターの半分以下のサイズ
- 革新的な構造のガス作動式圧力感知アセンブリー
- 供給圧力影響(SPE)が少ないため、圧力調整が正確
- ドループ(流量増加に伴う二次側圧力の降下)が少なく、多くのシステムにおいて圧力の再調整が不要
- 一次側が最高使用圧力でも、他の部品に損傷を与えることなく二次側へ圧力を供給
- セルフ・センタリング式のPCTFE製ポペットによりクリープ(流れ停止時の二次側圧力の上昇)を最小限に抑える
- 調整不要のタンパー・フリー・デザイン
- 高純度用
- 接合ポペットにより、クリーンなオペレーションおよび確実な締め切りを実現
- 外部へのシールが不要な溶接式デザイン
- 316L VIM-VARステンレス鋼製ボディを採用
- 内部の接ガス部表面:0.13 µm Raの電解研磨仕上げ/超高純度工程仕様(Swagelok SC-01仕様)
- エンド・コネクションや取り付け方法が選択可能
- 大流量用HVCR®エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ)
- VCRエンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ)
- 突き合わせ溶接エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ)
- Cシール・モジュラー・サーフェス・マウント(サイズ:1.50 インチ)
高純度用プリセット式レギュレーター
プリセット式レギュレーターは、不活性混合ガスを工場にて充填し、二次側圧力を0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、0.34 MPa、0.55 MPaに設定しています。
高純度用ドームロード式ガス圧力レギュレーター
ドームロード式レギュレーターは、操作時にパイロット・レギュレーターを用いて調整ができるほか、工場にて充填し、二次側圧力を0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、0.34 MPaに設定することも可能です。
オプション
Swagelok VCR スプリット・ナット・アセンブリー |
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