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高純度用ガス圧力レギュレーター ― コンパクトな大流量用HFシリーズ
Swagelok® 高純度用ガス圧力レギュレーター HFシリーズは、ガス作動式圧力感知アセンブリーによって、広域の一次側圧力範囲において、二次側圧力を正確に調整します。

 
 コンパクトな高純度用ガス圧力レギュレーター、HFシリーズ

仕様

使用圧力範囲   
• 一次側  真空~7.00 MPa、真空~20.6 MPa
• 二次側  真空~1.03 MPa
プリセット二次側圧力 0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、
0.34 MPa、0.55 MPa
使用温度範囲
• 操作時  -23~65℃
• ベークアウト時  150℃
最大流量 300 std L/min

詳細
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他のレギュレーター
大流量/手動式ガス圧力レギュレーター
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コンパクトな大流量用ガス圧力レギュレーター、HFシリーズの断面図
特徴

  • コンパクトで大流量に対応するデザインは、従来のダイヤフラム・タイプ圧力レギュレーターの半分以下のサイズ
  • 革新的な構造のガス作動式圧力感知アセンブリー
    • 供給圧力影響(SPE)が少ないため、圧力調整が正確
    • ドループ(流量増加に伴う二次側圧力の降下)が少なく、多くのシステムにおいて圧力の再調整が不要
    • 一次側が最高使用圧力でも、他の部品に損傷を与えることなく二次側へ圧力を供給
  • セルフ・センタリング式のPCTFE製ポペットによりクリープ(流れ停止時の二次側圧力の上昇)を最小限に抑える
  • 調整不要のタンパー・フリー・デザイン
    • 調整ミスを防止
    • 取り付けが簡単
  • 高純度用
    • 接合ポペットにより、クリーンなオペレーションおよび確実な締め切りを実現
    • 外部へのシールが不要な溶接式デザイン
    • 316L VIM-VARステンレス鋼製ボディを採用
    • 内部の接ガス部表面:0.13 µm Raの電解研磨仕上げ/超高純度工程仕様(Swagelok SC-01仕様)
  • エンド・コネクションや取り付け方法が選択可能
    • 大流量用HVCR®エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ)
    • VCRエンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ)
    • 突き合わせ溶接エンド・コネクション(サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ)
    • Cシール・モジュラー・サーフェス・マウント(サイズ:1.50 インチ)

高純度用プリセット式レギュレーター
プリセット式レギュレーターは、不活性混合ガスを工場にて充填し、二次側圧力を0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、0.34 MPa、0.55 MPaに設定しています。

高純度用ドームロード式ガス圧力レギュレーター
ドームロード式レギュレーターは、操作時にパイロット・レギュレーターを用いて調整ができるほか、工場にて充填し、二次側圧力を0.068 MPa、0.13 MPa、0.20 MPa、0.34 MPaに設定することも可能です。

オプション
Swagelok VCR スプリット・ナット・アセンブリー



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Swagelok®円周溶接機(オービタル・ウェルディング・システム)
システム・コンポーネント:パワー・サプライ、ウェルド・ヘッド、 フィクスチャー・ブロック、 サイド・プレート、 センター・プレート、 コレット
Swagelok weld heads

Swagelok®ウェルド・ヘッド
スウェージロックは、M200パワー・サプライ向けのウェルド・ヘッドを豊富に取り揃えております。Swagelokウェルド・ヘッドを使用すると、外径サイズが1/16 インチから4 インチ(2 mmから104 mm)のチューブやパイプを常に精密に溶接できます。