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大流量/手動式ガス・レギュレーター
Swagelok® 大流量/手動式ガス・レギュレーター HFシリーズは、正確に二次側圧力を制御する独自の圧力感知アセンブリーと連動するロード・スプリングを特徴としています。二次側圧力はハンドルを回すことで調節することができます。 インライン型/サーフェス・マウント型(MSM)モデルがございます。
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仕様 |
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| 使用圧力範囲 |
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| • 一次側 |
インライン型/サーフェス・マウント型(1.5 インチMSM型):真空~3.44 MPa
1.125 インチMSM型:真空~1.03 MPa |
| • 二次側 |
インライン型/1.5 インチMSM型:真空~1.03 MPa
1.125 インチMSM型:真空~0.41 MPa |
二次側の
使用圧力範囲 |
インライン型/1.5 インチMSM型:最小:真空~0.17 MPa、
最大:0.13~1.03 MPa
1.125 インチMSM型: 最小:真空~0.20 MPa、最大:真空~0.41 MPa |
| 使用温度範囲 |
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| • 操作時 |
インライン型/1.5 インチMSM型:-23~65℃
1.125 インチMSM型: 0~150℃ |
| • ベークアウト時 |
インライン型/1.5 インチMSM型:150℃
1.125 インチMSM型: 0~150℃ |
| 流量 |
最大200 std L/min |
詳細
大流量/手動式ガス圧力レギュレーター HFシリーズのカタログをダウンロード
HFシリーズ・ガス・レギュレーター技術情報をダウンロード
スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。
他のレギュレーター
減圧レギュレーター
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背圧レギュレーター
高純度、大流量用ガス・レギュレーター
特徴
- コンパクトながら大流量に対応するデザインで、システム・コンポーネントとプロセス・ラインの省スペース化を実現
- システムに影響を与えることなく、二次側の圧力調節とスプリング交換が可能
- 圧力を感知する独自の構造:
- 溶接ダイヤフラムと独自のステム・アセンブリー
- ドループ(流量増加に伴う二次側圧力の降下)が少なく、多くのシステムにおいて圧力の再調節が不要
- PCTFE製セルフ・センタリング・ポペットがクリープ(流れ停止時の二次側圧力の上昇)を最小限に抑えるため、漏れのない締め切りが可能
- 316L VIM-VARステンレス鋼製ボディを採用
- 内部の接ガス部表面:0.13 µm Raの電解研磨仕上げ/超高純度工程仕様(Swagelok SC-01仕様) または特別なクリーニングおよびパッケージング(Swagelok SC-11仕様)
- エンド・コネクションや取り付け方法が選択可能
- VCR® エンド(1/4 インチ・サイズ)
- 突き合わせ溶接エンド(1/4 インチ・サイズ)
- Cシール・モジュラー・サーフェス・マウント(サイズ:1.50 インチ)
- モジュラー・サーフェス・マウント(サイズ:1.125 インチ)
ロード・スプリング
インライン型/MSM型(1.5 インチ・サイズ)HFシリーズ手動式ガス圧力レギュレーター用のロード・スプリングは、工場取り付けまたは単品にてご注文いただけます。スプリング・キットには、ロード・スプリング、ロード・ディスク、ラベル、取り扱い説明書が含まれます。
インライン型/サーフェス・マウント型(1.5 インチ・サイズ)手動式ガス・レギュレーター・オプション
- Swagelok VCR® Split-Nutアセンブリー
- アルミニウム製ハンドル(スリム・タイプおよび低トルク)
- ポペット・キットおよびポペット・ツール
サーフェス・マウント型(1.125 インチ・サイズ)オプション
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