Swagelok®超高純度用
フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー）　CHPシリーズ
超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー）　CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは、超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。

仕様 最高使用圧力 0.55 MPa 流体温度 10～85℃ ボディ材質 ・小（Sサイズ） デュポン®・テフロン®（次世代PTFE） ・中（Mサイズ） PFA 最大流量係数 4.1 クラッキング圧力 ・小（Sサイズ） 0.011 MPa未満 ・中（Mサイズ） 0.007 MPa未満 再シール圧力 0.004 MPaまで エンド･コネクション ・タイプ フレアー継手、 スーパー300タイプピラーフィッティング® ・サイズ 小（S サイズ）： 1/4 インチ、 3/8 インチ、 6 mm 、 10 mm 中（M サイズ）： 1/2 インチ、 3/4 インチ

• 低いクラッキング圧力および再シール圧力
• ポペット
  • Oリングを使用していないため、優れた清浄度を維持
  • 曲線部がなだらかなため、乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制
• 外部シール
  • 突起部とみぞ部が噛み合ってシールを形成
  • 熱サイクルや高圧用途においても、漏れのない優れたシール性能
• スプリング
  • 非汚染性PFA材質を使用
  • バルブはどの向きにでも取り付け可能
• 確実なストッパー
  • 圧縮によるスプリングの硬化を防止
  • スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減
• リテイナー
  • ボディ・サイズが小（Sサイズ）の場合：確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現
  • ボディ・サイズが中（Mサイズ）の場合：流れを最大限化し、かつ差圧を低減するデザイン

オプション

• 標準のPVDF製ナットの代わりに使用可能なPFA製フレアー継手用ナット
• ISO、NPT、その他のエンド・コネクション
• ボディ・サイズが中（Mサイズ）でエンド・コネクションがスーパー300タイプピラーフィッティングのバルブ

テスト
超高純度用逆止弁には、工場にてシートおよび外部のリーク・テストを全品に行っています。

クリーニング／パッケージング
超高純度用逆止弁には、超高純度流体システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 Section 11に準拠したクリーニングおよびパッケージングを全品に行っています。