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高性能スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DPシリーズ
316L VIM-VARステンレス鋼製のSwagelok®ダイヤフラム・バルブ DPシリーズは、さまざまな超高純度用途に適しています。
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仕様
| 使用圧力範囲 |
真空～21.0 MPa |
| 破裂圧力 |
84.0 MPa |
| 作動圧力 |
0.42～0.82 MPa |
| 使用温度範囲 |
–23～150℃ |
| 流量係数 |
0.20、0.27 |
| ボディ材質 |
316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 |
Elgiloy® |
| エンド・コネクション |
| ・タイプ |
VCR®面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、
Swagelokチューブ継手、集積モデル |
| ・サイズ |
1/4 インチ、6 mm | |
詳細
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ダイヤフラム・バルブ DPシリーズ 技術情報 をダウンロード
高性能スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） DPシリーズのカタログ をダウンロード
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その他の超高純度用ダイヤフラム・バルブ
原子層蒸着（ALD）バルブ
大流量用スプリングレス･ダイヤフラム･バルブ DFシリーズ
特徴
- モデル：低圧型、高圧型
- 完全に組み込まれたPCTFE製シート
- 膨潤およびコンタミネーションに対する耐性を保持
- ヘリウムの透過を抑える構造のため、ヘリウム・リーク・テストのパフォーマンスが向上
- パーティクルの発生を最小限に抑える
- 優れた耐久性
- ダイヤフラムの長いサイクル・ライフを実現
- 流路から障害物を一掃
- たまり部分を最小限に抑える
- パージが容易
- 大流量を実現
超高純度用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ工程仕様 - 特別なクリーニング、工程仕様コードP1： 特別なクリーニングおよびパッケージング（Swagelok SC-11仕様）
- 特別なクリーニング（非オゾン破壊化学物質を使用）
- バルブは特にクリーンなエリアで組み立てられ、個々にパックされます。
- 平均値で 0.13 µmの電解研磨仕上げ
- 超高純度クリーニング（常時モニターを行いながら、超純水と超音波を使用した洗浄システム）
- バルブはISOクラス4のワーク・エリアで組み立てられ、クリーンルーム用バッグにて二重パックと真空シールがされます。
- 平均値で 0.13 µmの電解研磨仕上げ
超高純度用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ・テスト
シート部、外周部、全シール部において、許容リーク・レートを1×10 –9 std cm 3 /sとして、インボード・ヘリウム・リーク・テスト（真空法）を行います。 DPシリーズ・バルブは、最大許容リーク・レートを1×10 –10 std cm 3 /sとして、その設計段階においてヘリウム・リーク・テストを行っています。
形状
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| マルチポート・バルブ |
マルチバルブ・マニホールド |
- 2ポート低圧型バルブ
- 2ポート高圧型バルブ
- 集積バルブ
- マルチポート・バルブ／エルボー・バルブ
- マルチバルブ・マニホールド
オプション - ハンドル
- 丸ハンドル、トグル・ハンドル、方向指示ハンドル、一体型ロッキング・ハンドル
- ハンドルは、7色よりお選びいただけます。
- エアー・アクチュエーター
- インジケーター･スイッチは、バルブとセット（工場にてバルブに取り付けて出荷）または単品（インジケーター・スイッチ・キット）でご注文いただけます。
- ポリイミド製シート（高温用）
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