Swagelok® ALD（原子層蒸着）ダイヤフラム･バルブ
Swagelok ALD（原子層蒸着）ダイヤフラム･バルブは、サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能です。最大流量係数は0.62で、ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするための高温モデルのアクチュエーター、インジケーター、ソレノイドを備えています。

仕様 使用圧力範囲 真空～1.00 MPa 破裂圧力 ＞22.0 MPa 作動圧力 0.35～0.62 MPa 使用温度範囲 0～200℃ 流量係数 0.27～0.62 ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼 ダイヤフラム材質 Elgiloy® エンド・コネクション ・タイプ VCR®面シール継手、 チューブ突き合わせ溶接、集積バルブ ・サイズ 1/4～1/2 インチ、6～12 mm 1.125 インチ、1.5 インチ（集積バルブ）

詳細
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特徴

• エアー・アクチュエーター：ノーマル・クローズ型／ノーマル・オープン型
  • アクチュエーター：標準モデル／高温モデル
  • バルブのオープンまたはクローズに要する時間は5 ms未満
  • 工場にて流量設定を行っているため、正確で安定したCv値を確保
• 完全に包み込まれた高純度 PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れる
• 流路から障害物を一掃
  • たまり部分を最小限に抑える
  • パージが容易
  • 大流量を実現

ALDダイヤフラム･バルブ工程仕様

• 超高純度、工程仕様コードP： 超高純度工程仕様（Swagelok SC-01仕様）
  • 超高純度クリーニング（常時モニターを行いながら、超純水と超音波を使用した洗浄システム）
  • バルブはISOクラス4のワーク・エリアで組み立てられ、クリーンルーム用バッグにて二重パックと真空シールがされます。
  • 接ガス部の表面粗さ： 平均値で0.13 µmの電解研磨仕上げ

ALDダイヤフラム･バルブ・テスト

• ALD3（ノーマル・クローズ型）： シート部、外周部、全シール部において、許容リーク・レートを1×10^–9 std cm³/sとして、インボード・ヘリウム・リーク・テスト（真空法）を行います。
• ALD3／ALD6（ノーマル・オープン型）、ALD6（ノーマル・クローズ型）： シート部においては許容リーク・レートを1×10^–8 std cm³/sとして、外周部およびその他すべてのシール部においては許容リーク・レートを1×10^–9 std cm³/s として、インボード・ヘリウム・リーク・テスト（真空法）を行います。

構成

• 2ポート・バルブの形状：ストレート、エルボー
• マルチポート･バルブ／マルチバルブ･マニホールド：2ポート、3ポート、4ポート
• 1.125 インチ（ALD3シリーズのみ）／1.5 インチ・サイズのプラットフォームの集積バルブ：2ポート、3ポート

2ポート・バルブ ノーマル・オープン型 アクチュエーター （標準モデル）	マルチポート・バルブ ノーマル・クローズ型 アクチュエーター （高温モデル）	マルチバルブ・マニホールド ノーマル・クローズ型 アクチュエーター （標準モデル）

オプション

電気式インジケーターとソレノイド・パイロット・バルブを装着したALDバルブ