Hochrein
Hochreine Filter
- Entsprechen den strengen Anforderungen der Norm SEMI E49.8-96 (SCF Serie) für ultrahochreine Gassysteme
- Inline, vollständig verschweißte Konstruktion
Ganzverschweißte Filter in Durchgangsform (Serie FW)
Technische Daten
Arbeitsdruck | bis 413 bar (6000 psig) |
Differenzdruck | bis 41,3 bar (600 psig) |
Temperatur | –28 bis 482°C (–20 bis 900°F) |
Körper-Werkstoff | Edelstahl 316 |
Element | |
Werkstoff | Swagelok Rohrverschraubung, NPT Gewinde VCR®-Außengewinde |
Nominal Pore Size | 0,5 bis 15 µm |
Endanschlüsse | |
Typ | Swagelok Rohrverschraubung, NPT Gewinde VCR®-Außengewinde |
Größe | 1/4 in.; 6 mm |
UHP-Gasfilter, Serie SCF
Technische Daten
Arbeitsdruck | bis 206 bar (3000 psig) |
Differenzdruck | bis 10 bar (145 psig) |
Temperatur | Bis zu 50°C (122°F) |
Maximale Durchflussrate | 2700 std L/min |
Körper-Werkstoff | 316L VAR Edelstahl |
Innenoberfläche | Elektropoliert auf 0,13 µm (5 µinch) Ra |
Element | |
Werkstoff | hochreines Aluminiumoxyd |
Abscheidegrad | > 99,999999 % bei 0,003 µm |
Endanschlüsse | |
Typ | VCR Verschraubung |
Größe | 1/4, 1/2 und 3/4 Zoll |
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