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Atomschichtsedimentierungs- (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventile

Atomlagenabscheidungsventile

Swagelok ist ein weltweit führendes technisches Unternehmen und ein Lösungsanbieter für Halbleiter-Chip-Produktionsanwendungen, sowie der Erfinder der ALD-Ventil-Technologie. Unsere ultrahochreinen (UHP) ALD-Ventile bieten Folgendes:

  • Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit
  • Cv Bereich zwischen 0,27 und 1,7
  • Mit Hochtemperatursteuerköpfen voll eintauchbar bis 200°C (392°F)
  • Geeignet für UHP-Anwendungen mit Körper aus Edelstahl Standards 316L VIM-VAR
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißenden und VCR®-Endanschlüsse
  • Optionaler elektronischer oder optischer Steuerkopf-Stellungsmelder

ALD-Ventile einkaufen

UHP-Membranventile der Serien ALD3 und ALD6

Sehen Sie sich unsere ALD3- und ALD6-Ventile anKatalog für ALD3 und ALD6

Membranventile für Atomlagenabscheidung bieten eine besonders hohe Zykluslebensdauer, hohe Betätigungsgeschwindigkeit und Durchflusskoeffizienten bis 0,62, zusammen mit Hochtemperatur-Steuerköpfen, Stellungsmeldern und Magnetventilbetätigung für optimalen Einsatz in Atomlagenabscheidungsanwendungen.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 10,0 bar (145 psig)
Berstdruck 220 bar (3200 psig)
Steuerdruck 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig)
Temperatur 0 bis 200°C (32 bis 392°F)
Durchflusskoeffizient(Cv) 0,27 oder 0,62
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VIM-VAR
Membranwerkstoff Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Typ (Größe) VCR® Innengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
VCR® Außengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,125 Zoll bis 1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss)

Das ALD20 UHP-Ventil für Anwendungen mit hohem Durchfluss

ALD20-Katalog

Das ALD20 UHP-Ventil ist das neueste Ventil der Swagelok-Familie mit ALD-Produkten. Das zum Patent angemeldete Design gestattet die Nutzung schwieriger Stoffe mit niedrigem Dampfdruck. Das ALD20 weist ultrahochreine Faltenbälge auf, die einen saubereren Betrieb und höheren Durchfluss als andere ALD-Ventile liefern.

Außerdem kann das ALD20-Ventil vollkommen thermisch in einen Gasblock eingetaucht und auf Temperaturen zwischen 10°C (50°F) und bis zu 200°C (392°F) erhitzt werden.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 1,4 bar (20 psig)
Berstdruck >220 bar (3200 psig)
Steuerdruck 4,8 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig)
Temperatur 10° bis 200°C (50° bis 392°F)
Durchflusskoeffizient (Cv) 1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung)
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22
Faltenbalg-Werkstoff Alloy 22 (5 μin. Ra -Oberflächengüte)
Endanschlüsse
Typ (Größe) VCR® Innengewinde (1/2 Zoll)
Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll)
Rohrstumpfschweißende, 0,50 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) für hohem Durchfluss

Die Grenzen der ALD-Technologie durchbrechen.

Herunterladen des Katalogs für ultrahochreine ALD-Ventile

Fragen? Vertriebs- und Servicezentrum finden.

Sichere Produktauswahl: Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich.

⚠ Warnung: Swagelok-Produkte oder -Bauteile, die nicht durch Industrienormen und -standards definiert sind, einschließlich Swagelok Rohrverschraubungen und Endanschlüssen, dürfen nicht durch die Produkte oder Bauteile anderer Hersteller ausgetauscht oder mit den Produkten oder Bauteilen anderer Hersteller vermischt werden.