Membranventile
Unsere Membranventile sind in verschiedenen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich, um Ihre Anforderungen für hochreine und ultrahochreine (UHP) Anwendungen zu erfüllen.
Membranventile:
- haben eine lange Lebensdauer und bieten eine effektive Absperrung
- sind mit verschiedenen Betätigungsoptionen erhältlich, darunter manuelle, pneumatische und abschließbare
- werden in einer großen Vielfalt an Werkstoffen und Konfigurationen angeboten.
Unser Angebot an Membranventilen:
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Suchen Sie nach ultrahochreinen Atomschichtsedimentierungs-Ventilen ?
Atomschichtsedimentierungs- (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventile
Sehen Sie sich unsere Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 sowie unser hier vorgestelltesALD20 UHP-Ventil für Atomschichtsedimentierung an.
Membranventile zur Gasverteilung (Serie LD)
Mit Durchflusskoeffizienten von bis zu 13 und einer Vielzahl an Konfigurationen und Materialien können Gasverteilungs-Membranventile der Serie LD zahlreiche ultrahochreine Absperr- , Gasverteilungs- und Abtrenn-Anwendungen unterstützen.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | bis 20,6 bar (300 psig) |
| Temperatur | -20 bis 148°C (–4 bis 300°F) |
| Durchflusskoeffizient | bis 13 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahlguss CF3M, geschmiedete Körper und Stangenmaterial aus Edelstahl 316 |
| Membranwerkstoff | Edelstahl 316L |
| Endanschlüsse | |
| Typ | Swagelok Rohrverschraubung, VCR® Außengewinde, NPT-Innengewinde, ISO-Innengewinde, Rohrverlängerung |
| Größe | 12 bis 25 mm; 1/4 bis 1 Zoll |
Membranventile (Serien DL und DS)
Membranventile der Serie DL und DS bieten eine packungslose, rein metallische Abdichtung nach außen für hochreine und ultrahochreine Systeme und für einen Druckeinsatzbereich bis 241 bar (3500 psig).
Technische Daten
| Arbeitsdruck | bis 241 bar (3500 psig) |
| Temperatur | -73 bis 121°C (–100 bis 250°F) |
| Durchflusskoeffizient | bis 0,30 |
| Körperwerkstoff | Edelstahl 316L |
| Membranwerkstoff | Edelstahl 316 |
| Endanschlüsse | |
| Typ | Swagelok-Rohrverschraubung, VCR®-Verschraubung, VCO®-Verbindung mit O-Ring, Stumpfschweißung, Muffenschweißung |
| Größe | 6 und 8 mm; 1/4, 3/8 und 1/2 Zoll |
Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile (Serie DRP)
Die verbesserte Konstruktion der Serie DRP führt zu weniger Einschlussbereichen und einer längeren Lebensdauer der Membran und erfüllt die SEMI-Norm F57-0301 für ultrahochreine chemische Verteilungssysteme und Geräte.
Technische Daten
| Druckraten | bis 6,8 bar (100 psig) |
| Medientemperatur | 23 bis 100°C (73 bis 212°F) |
| Durchflusskoeffizient | bis 10,2 |
| Körper, Membranwerkstoff | Modifiziertes PTFE |
| Endanschlüsse | |
| Typ | Flare-Außenfeingewinde und Nippon Pillar Super 300 Standard; ISO, NPT, Flowelll |
| Größe | 6 bis 25 mm und 1/4 bis 1 1/4 Zoll |
| Konfiguration | Zwei- und Dreiwege-Absperrventile mit manueller und pneumatischer Betätigung; Modelle mit regulierbarem Durchfluss und Bypass |
Federlose Membranventile für hohen Durchfluss (Serie DF)
Membranventile der Serie DF wurden für viele verschiedene ultrahochreine Anwendungen mit hohem Durchfluss mit einem Durchflusskoeffizienten von 0,62 entwickelt. Sie sind mit Endanschlüssen für hohen Durchfluss erhältlich.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 20,6 bar (300 psig) |
| Berstdruck | 220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 4,9 bis 6,8 bar (70 bis 100 psig) |
| Temperatur | -23 bis 132°C (-10 bis 270°F) |
| Durchflusskoeffizient | 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VAR |
| Membranwerkstoff | Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Type | Typ „H“ VCR®-Verschraubung, VCR-Anschlüsse, Stumpfschweißanschluss |
| Size | 10 und 12 mm; 1/4, 3/8 und 1/2 Zoll |
Federlose Membranventile für hohe Leistung (Serie DP)
Die aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigten Membranventile der Serie DP eignen sich für eine Vielzahl von ultrahochreinen Anwendungen.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 210 bar (3045 psig) |
| Berstdruck | Bis 840 bar (12 200 psig) |
| Steuerdruck | 4,2 bis 8,2 bar (60 bis 120 psig) |
| Temperatur | -23 bis 150°C (-10 bis 300°F)td> |
| Durchflusskoeffizient | 0,20 und 0,27 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Type | Swagelok Rohrverschraubung, VCR®-Anschluss Stumpfschweißanschluss, modulare - Flächenmontage (Modular Surface Mount - MSM) |
| Size | 1/4 Zoll; 6 mm |
Federlose Membranventile, 1,125 Zoll, für modulare Gassysteme (Serie DE)
Die federlosen Membranventile der Serie DE sind mit einer Vielzahl an Antriebsoptionen für die einfache Integration in Ihr modulares 1,125-Zoll-C-Dichtungs- bzw. W-Dichtungs-Gassystem erhältlich.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 8,6 bar (125 psig) |
| Berstdruck | 220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | |
| Normal geschlossen | 4,1 bis 8,2 bar (60 bis 120 psig) |
| Normal offen und | 4,1 bis 6,2 bar (60 bis 90 psig) |
| Normal geschlossen mit manueller | |
| integrierter Überdrucksperre | |
| Temperatur | -10 bis 65°C (14 bis 150°F) |
| Durchflusskoeffizient | 0,3 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Typ | 1,125 Zoll modulare Flächenmontage (MSM) |
| Konfigurationen | Mit 2 und 3 Anschlüssen |
Membranventile zur Wärmeimmersion (Serie DH)
Swagelok Membranventile zur Wärmeimmersion bieten hohe Betätigungsgeschwindigkeiten, Durchflusskoeffizienten bis 0,60 und sind für optimale Leistungen bei 220°C (428°F) für Prozesse bei hohen Temperaturen einschließlich Atomlagenabscheidung (ALD) und Zufuhr von Ausgangsstoffen konstruiert. Sie sind sowohl mit pneumatischer als auch mit manueller Betätigung in einer Vielzahl von 1/4 und 3/8 Zoll-Endanschlüssen erhältlich.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 4,8 bar (70 psig) |
| Berstdruck | > 220 bar (3200 psig) |
| Actuation Pressure | 4,1 bis 6,2 bar (60 bis 90 psig) |
| Temperatur | 20 bis 220°C (70 bis 428°F) |
| Durchflusskoeffizient | |
| VCR® Typ H-Anschlüsse | 0,60 bei 20°C (70°F) |
| 0,40 bei 220°C (428°F) | |
| VCR und alle anderen Anschlüsse |
0,30 bei 20°C (70°F) 0,21 bei 220°C (428°F); |
| Modulare Flächenmontage body |
0,25 bei 20°C (70°F) 0,21 bei 220°C (428°F) |
| Körperwerkstoff | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Type | VCR und H-VCR-Anschluss, Stumpfschweißanschluss; modulare Flächenmontage (MSM) |
| Size |
1/4 und 3/8 Zoll 1,125 und 1,5 Zoll MSM |
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| Sichere Produktauswahl: Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich. ⚠ Warnung: Swagelok-Produkte oder -Bauteile, die nicht den industriellen Entwicklungsnormen entsprechen, einschließlich Swagelok Rohrverschraubungen und Endanschlüsse nicht durch die anderer Hersteller austauschen oder mit den Produkten oder Bauteilen anderer Hersteller vermischen. |