Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)
Swagelok es un líder técnico global y proveedor de soluciones para aplicaciones de fabricación de semiconductores, así como el creador de la tecnología de válvulas ALD. Características de nuestras válvulas ALD de ultra alta pureza (UHP):
- Vida de ciclo ultra alto con actuación de alta velocidad
- Cv de 0,27 a 1,7
- Inmersión total hasta 200°C (392°F) con actuadores térmicos
- Adecuadas para aplicaciones UHP con cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR estándar
- Conexiones finales para montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y VCR®.
- Opción de sensor de la posición del actuador electrónico u óptico
Válvulas de Diafragma ALD3 y ALD6 UHP
Las válvulas de diafragma ALD tienen una vida de servicio ultra larga, alta velocidad de actuación y coeficientes de caudal de hasta 0,62, así como actuadores térmicos, sensores de posición y solenoides que optimizan el rendimiento en las aplicaciones de deposición de capas atómicas.
Especificaciones
| Presión de Servicio | Vacío a 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de Rotura | 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig) |
| Temperatura | 0° a 200°C (32° a 392°F ) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 0,27 o 0,62 |
| Materiales del Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del Diafragma | Aleación con base de cobalto |
| Conexiones finales | |
| Tipo (Tamaño) | Accesorio de cierre frontal VCR® hembra (1/4 pulg. a 1/2 pulg.) Accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg. Montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,125 pulg. a 1,5 pulg.) |
La válvula ALD20 UHP para Aplicaciones de Alto Caudal
La válvula ALD20 UHP es la última incorporación a la familia de productos ALD Swagelok. El diseño patentado permite la utilización de precursores difíciles a baja presión de vapor. La ALD20 cuenta con un fuelle de ultra alta pureza para promover una operación limpia y una mayor capacidad de caudal que otras válvulas ALD.
Además, la válvula ALD20 puede sumergirse completamente en la caja de gas y calentarse desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F).
Especificaciones
| Presión de Servicio | Vacío a 1,4 bar (20 psig) |
| Presión de Rotura | >220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 4,8 a 6,2 bar (70 a 90 psig) |
| Temperatura | 10° a 200°C (50° a 392°F ) |
| Coeficiente de caudal (Cv) | 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto) |
| Materiales del Cuerpo | Aleación 316L VIM-VAR o Aleación 22 |
| Material del fuelle | Aleación 22 (Acabado superficial de 5 μpulg. Ra |
| Conexiones finales | |
| Tipo (Tamaño) | Accesorio VCR® hembra (1/2 pulg.) Accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg.) Soldadura de tubo a tope, 0,50 pulg. de largo (1/2 pulg. x 0,049 pulg.) Montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,5 pulg.) |
Superar los límites de la tecnología ALD
Características: Válvula Swagelok ALD20 UHP
El rendimiento de alta temperatura y alto caudal de nuestra nueva válvula ALD20 UHP, abre oportunidades para trabajar con productos químicos que antes eran difíciles de utilizar eficazmente, permitiendo a los fabricantes avanzar hacia la próxima generación de tecnología de chips.
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| Selección fiable de un producto: El diseñador y usuario del sistema deben revisar la documentación técnica para asegurar una correcta selección de producto. Al seleccionar un producto, habrá que tener en cuenta el diseño global del sistema para conseguir un servicio seguro y sin problemas. El diseñador de la instalación y el usuario son los responsables de la función del componente, de la compatibilidad de los materiales, de los rangos de operación apropiados, así como de la operación y mantenimiento del mismo. ⚠ Aviso: No mezcle ni intercambie productos o componentes Swagelok no regulados por normas de diseño industrial, incluidas conexiones finales para racor de tubo Swagelok, con los de otros fabricantes. |