Vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)
Inventeur de la vanne pour dépôt par couche atomique (ALD) et leader mondial de cette technologie, Swagelok fournit des solutions aux fabricants de puces semi-conductrices. Les caractéristiques de nos vannes ALD très haute pureté sont les suivantes :
- Une très grande durée de vie avec un actionnement ultrarapide
- Un Cv allant de 0,27 à 1,7
- La possibilité d’une immersion complète à des températures allant jusqu'à 200°C (392°F) avec des actionneurs thermiques
- Une utilisation possible dans des applications de très haute pureté grâce à un corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR
- Montage modulaire en surface, tube à souder bout à bout et raccords VCR®
- Dispositif électronique ou optique de détection de la position de l’actionneur proposé en option
Vannes à membrane très haute pureté ALD3 et ALD6
Les vannes à membrane ALD Swagelok ont pour caractéristiques une durée de vie très longue, un actionnement ultrarapide, des coefficients de débit allant jusqu'à 0,62, et sont proposées avec des actionneurs thermiques, des capteurs de position et des solénoïdes, pour des performances optimales dans les applications de dépôt par couche atomique.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 10,0 bar (145 psig) |
| Pression d'éclatement | 220 bar (3200 psig) |
| Pression d'actionnement | 3,5 à 6,2 bar (50 à 90 psig) |
| Température | 0° à 200°C (32° à 392°F) |
| Coefficient de débit (Cv) | 0,27 ou 0,62 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type (taille) | Raccord à étanchéité de surface VCR® femelle (1/4 à 1/2 po) Raccord à étanchéité de surface VCR® mâle (1/4 à 1/2 po) Joint en C haut débit pour montage modulaire en surface (1,125 po à 1,5 po) |
La vanne très haute pureté ALD20 pour applications hauts débits
La vanne très haute pureté ALD20 est la dernière-née de la gamme des produits Swagelok destinées au dépôt par couche atomique. Sa conception en attente de brevet permet d’utiliser des gaz précurseurs à faible pression de vapeur saturante. Le soufflet très haute pureté de la vanne ALD20 favorise une exploitation propre et permet des débits supérieurs à ceux des autres vannes ALD.
De plus, il est possible d’immerger complètement la vanne ALD20 dans l’unité d’alimentation en gaz à des températures comprises entre 10°C (50°F) et 200°C (392°F).
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 1,4 bar (20 psig) |
| Pression d'éclatement | >220 bar (3200 psig) |
| Pression d'actionnement | 4,8 à 6,2 bar (70 à 90 psig) |
| Température | 10° à 200°C (50° à 392°F) |
| Coefficient de débit (Cv) | 1,2 (montage modulaire en surface) ou 1,7 (config. droite) |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR ou alliage 22 |
| Matériau du soufflet | Alliage 22 (Ra de 0,13 µm [5 µpo]) |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type (taille) | Raccord VCR® femelle (1/2 po) Raccord VCR mâle tournant (1/2 po) Tube à souder bout à bout, 0,50 po de long (1/2 po x 0,049 po) Joint en C haut débit pour montage modulaire en surface (1,5 po) |
Repoussez les limites du dépôt par couche atomique
Un produit spécial : la vanne ALD20 de Swagelok pour applications de très haute pureté
Les performances élevées de notre nouvelle vanne ALD20 en matière de température et de débit offrent désormais la possibilité de travailler avec des gaz précurseurs jusque-là difficiles à utiliser, ouvrant la voie vers de nouvelles technologies dans la fabrication des puces électroniques.
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| Sélection des produits en toute sécurité : Les catalogues doivent être lus en entier afin de garantir une sélection adéquate des produits par le concepteur et l'utilisateur du système. Lors de la sélection des produits, l'intégralité de la conception du système doit être prise en considération pour garantir un fonctionnement fiable et sans incident. La responsabilité de l'utilisation, de la compatibilité des matériaux, du choix de capacités nominales appropriées, d'une installation, d'un fonctionnement et d'une maintenance corrects incombe au concepteur et à l'utilisateur du système. Attention : Ne pas mélanger/échanger les composants des raccords double bague Swagelok (ou d'autres produits dont la conception n’est soumise à aucune norme industrielle) avec ceux d'autres fabricants. |