Vannes à membrane
Fabriquées dans des matériaux divers, nos vannes à membrane aux dimensions et aux configurations très variées peuvent répondre aux besoins des applications haute et très haute pureté.
Les vannes à membrane :
- Ont une longue durée de vie et garantissent une fermeture efficace
- Peuvent être équipées d'un actionnement manuel, pneumatique ou d'un verrouillage
- Sont proposées avec un large choix de dimensions, de matériaux et de configurations
Notre gamme de vannes à membrane :
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Vous cherchez des vannes à membranes très haute pureté pour une application de dépôt par couche atomique ?
Vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)
Découvrez nos vannes à membrane séries ALD3 et ALD6 et notre produit phare, la vanne très haute pureté ALD20 , destinées aux applications de dépôt par couche atomique.
Vannes à membrane pour gaz en vrac (série LD)
Avec des coefficients de débit allant jusqu'à 13 et une large variété de matériaux et de configurations, les vannes à membrane de la série LD peuvent être utilisées dans de nombreuses applications d'obturation haute pureté, de distribution de gaz en vrac et d'isolement.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Jusqu'à 20,6 bar (300 psig) |
| Température | –28° à 148°C (–20° à 300°F) |
| Coefficient de débit | Jusqu'à 13 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable moulé CF3M, acier inoxydable 316L forgé ou en barres |
| Matériau de la membrane | Acier inoxydable 316L |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccord pour tube Swagelok®, raccord VCR® raccord à étanchéité de surface, filetage NPT femelle, filetage ISO femelle, extension de tube |
| Taille | 1/4 à 1 po ; 12 à 25 mm |
Vannes à membrane (séries DL et DS)
Les vannes à membrane des séries DL et DS ont pour caractéristique une enceinte entièrement métallique, sans garniture, pour des applications haute et très haute pureté à des pressions allant jusqu'à 241 bar (3500 psig).
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Jusqu'à 241 bar (3500 psig) |
| Température | –73° à 121°C (–100° à 250°F) |
| Coefficient de débit | Jusqu'à 0,30 |
| Matériau du corps | Acier inoxydable 316L |
| Matériau de la membrane | Acier inoxydable 316 |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccord pour tube Swagelok, raccord à étanchéité de surface VCR, raccord à joint torique VCO®, tube à souder bout à bout, tube à souder par emboîtement |
| Taille | 1/4, 3/8 et 1/2 po ; 6 et 8 mm |
Vannes à membrane en fluoropolymère très haute pureté (série DRP
Conforme à la norme SEMI F57-0301 sur les systèmes et équipements de distribution de produits chimiques à très haute pureté, la série DRP contribue à limiter les zones de rétention de fluide et à prolonger la durée de vie de la membrane.
Caractéristiques techniques
| Pression nominale | Jusqu'à 6,8 bar (100 psig) |
| Température du fluide | 23° à 100°C (73° à 212°F) |
| Coefficient de débit | Jusqu'à 10,2 |
| Matériau du corps, de la membrane | PTFE modifié |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccords évasés à filetage fin et Nippon Pillar Super 300® standard ; ISO, NPT, Flowell |
| Taille | 1/4 à 1 1/4 po et 6 à 25 mm |
| Configuration | Vannes d'arrêt 2 ou 3 voies à actionnement pneumatique ou manuel ; modèles à débit réglable avec dispositif de dérivation (bypass) |
Vannes à membrane sans ressort, haut débit (série DF)
Avec un coefficient de débit de 0,62 et la possibilité de raccordements d'extrémité haut débit, les vannes à membrane sans ressort de la série DF sont conçues pour de nombreuses applications nécessitant des débits élevés et une très haute pureté.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 20,6 bar (300 psig) |
| Pression d'éclatement | 220 bar (3200 psig) |
| Pression d'actionnement | 4,9 à 6,8 bar (70 à 100 psig) |
| Température | –23° à 132°C (–10° à 270°F)td> |
| Coefficient de débit | 0,62 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable VAR 316L |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccord à étanchéité de surface VCR de type H, raccord à étanchéité de surface VCR, tube à souder bout à bout |
| Taille | 1/4, 3/8 1/2 po ; 10 et 12 mm |
Vannes à membrane hautes performances, sans ressort (série DP)
Fabriquées en acier 316L VIM-VAR, les vannes à membrane de la série DP sont indiquées pour de nombreuses applications très haute pureté.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 210 bar (3045 psig) |
| Pression d'éclatement | Jusqu'à 840 bar (12200 psig) |
| Pression d'actionnement | 4,2 à 8,2 bar (60 à 120 psig) |
| Température | –23° à 150°C (–10° à 300°F)td> |
| Coefficient de débit | 0,20 et 0,27 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccord pour tube Swagelok, raccords à étanchéité de surface VCR, tube à souder bout à bout, montage modulaire en surface (MSM) |
| Taille | 1/4 po ; 6 mm |
Vannes à membrane sans ressort de 1,125 po pour systèmes gaz à montage modulaire (série DE)
Les vannes à membrane sans ressort de la série DE sont disponibles avec diverses possibilités d'actionnement, qui faciliteront leur intégration dans votre système gaz à montage modulaire 1,125 po avec joints en C ou en W.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 8,6 bar (125 psig) |
| Pression d'éclatement | 220 bar (3200 psig) |
| Pression d'actionnement | |
| Normalement fermée | 4,1 à 8,2 bar (60 à 120 psig) |
| Normalement ouverte et | 4,1 à 6,2 bar (60 à 90 psig) |
| Normalement fermée avec dispositif | |
| manuel de verrouillage intégré | |
| Température | –10° à 65°C (14° à 150°F) |
| Coefficient de débit | 0,3 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Montage modulaire en surface (MSM) 1,125 po |
| Configurations | 2 orifices et 3 orifices |
Vannes à membrane pour immersion à haute température (série DH)
Les vannes à membrane Swagelok pour immersion à haute température, caractérisées par un actionnement rapide et des coefficients de débit allant jusqu'à 0,60, offrent des performances optimales à 220°C (428°F) dans des process à température élevée, notamment pour les applications de dépôt par couche atomique (ALD) ou d'alimentation en gaz précurseurs. Elles sont proposées avec un actionnement pneumatique ou manuel, et avec un large choix de raccordements d'extrémité de dimensions 1/4 et 3/8 po.
Caractéristiques techniques
| Pression de service | Du vide jusqu'à 4,8 bar (70 psig) |
| Pression d'éclatement | > 220 bar (3200 psig) |
| Actuation Pressure | 4,1 à 6,2 bar (60 à 90 psig) |
| Température | 70° à 428°F (20° à 220°C) |
| Coefficient de débit | |
| Raccords VCR® de type H | 0,60 à 20°C (70°F) |
| 0,40 à 220°C (428°F) | |
| Raccords VCR et tous les autres raccords |
0,30 à 20°C (70°F) 0,21 à 220°C (428°F) |
| Corps pour montage modulaire en surface |
0,25 à 20°C (70°F) 0,21 à 220°C (428°F) |
| Matériau du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d'extrémité | |
| Type | Raccords à étanchéité de surface avec joint métallique VCR et VCR de type H, tube à souder bout à bout, montage modulaire en surface (MSM) |
| Taille |
1/4 et 3/8 po MSM 1,125 et 1,5 po |
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| Sélection des produits en toute sécurité : Les catalogues doivent être lus en entier afin de garantir une sélection adéquate des produits par le concepteur et l'utilisateur du système. Lors de la sélection des produits, l'intégralité de la conception du système doit être prise en considération pour garantir un fonctionnement fiable et sans incident. La responsabilité de l'utilisation, de la compatibilité des matériaux, du choix de capacités nominales appropriées, d'une installation, d'un fonctionnement et d'une maintenance corrects incombe au concepteur et à l'utilisateur du système. ⚠ Avertissement: Les composants qui ne sont pas régis par une norme, comme les raccords Swagelok, ne doivent jamais être mélangés/interchangés avec ceux d’autres fabricants. |