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High Purity Filter
高純度用フィルター

高純度用フィルター

 

  • SEMI E49.8-96 の極めて厳密な要件に適合するよう設計(SCFシリーズ)
  • 溶接式インライン構造(FWシリーズ)

溶接式インライン・フィルター:FWシリーズ

仕様

最高使用圧力 41.3 MPa
最大差圧 4.13 MPa
使用温度範囲 -28 ~482℃
ボディ材質 316ステンレス鋼
エレメント
材質 316Lステンレス鋼(焼結金属製エレメント、ひだ加工エレメント)
公称ポア(細孔)・サイズ 0.5~15 µm
エンド・コネクション
タイプ Swagelokチューブ継手、NPTねじ、VCR®面シール継手
サイズ 1/4 インチ 、6 mm

超高純度用ガス・フィルター:SCFシリーズ

仕様

最高使用圧力 20.6 MPa
最大差圧 17.2 MPa
最高使用温度 200°C
最大流量 2700 std L/min
ボディ材質 316L VARステンレス鋼
内部表面仕上げ 0.13 µm Raの電解研磨仕上げ
エレメント
材質 高純度アルミナ
パーティクル除去率 0.003 µmのパーティクルで99.999999 %を超える
エンド・コネクション
タイプ VCR面シール継手
サイズ 1/4 インチ、1/2 インチ、3/4 インチ

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安全な製品の選定について システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。 機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

ご注意:
他社部品との混用や互換は絶対に行わないでください。