高純度用
高純度用フィルター
- SEMI E49.8-96 の極めて厳密な要件に適合するよう設計(SCFシリーズ)
- 溶接式インライン構造(FWシリーズ)
溶接式インライン・フィルター:FWシリーズ
仕様
最高使用圧力 | 41.3 MPa |
最大差圧 | 4.13 MPa |
使用温度範囲 | –28 ~482℃ |
ボディ材質 | 316ステンレス鋼 |
エレメント | |
材質 | 316Lステンレス鋼(焼結金属製エレメント、ひだ加工エレメント) |
公称ポア(細孔)・サイズ | 0.5~15 µm |
エンド・コネクション | |
タイプ | Swagelokチューブ継手、NPTねじ、VCR®面シール継手 |
サイズ | 1/4 インチ 、6 mm |
超高純度用ガス・フィルター:SCFシリーズ
仕様
最高使用圧力 | 20.6 MPa |
最大差圧 | 1 MPa |
最高使用温度 | 50°C |
最大流量 | 2700 std L/min |
ボディ材質 | 316L VARステンレス鋼 |
内部表面仕上げ | 0.13 µm Raの電解研磨仕上げ |
エレメント | |
材質 | 高純度アルミナ |
パーティクル除去率 | 0.003 µmのパーティクルで99.999999 %を超える |
エンド・コネクション | |
タイプ | VCR面シール継手 |
サイズ | 1/4 インチ、1/2 インチ、3/4 インチ |
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