高純度用
高純度用フィルター
- SEMI E49.8-96 の極めて厳密な要件に適合するよう設計（SCFシリーズ）
- 溶接式インライン構造（FWシリーズ）
溶接式インライン・フィルター：FWシリーズ
仕様
| 最高使用圧力 | 41.3 MPa |
| 最大差圧 | 4.13 MPa |
| 使用温度範囲 | –28 ～482℃ |
| ボディ材質 | 316ステンレス鋼 |
| エレメント | |
| 材質 | 316Lステンレス鋼（焼結金属製エレメント、ひだ加工エレメント） |
| 公称ポア（細孔）・サイズ | 0.5～15 µm |
| エンド・コネクション | |
| タイプ | Swagelokチューブ継手、NPTねじ、VCR®面シール継手 |
| サイズ | 1/4 インチ 、6 mm |
超高純度用ガス・フィルター：SCFシリーズ
仕様
| 最高使用圧力 | 20.6 MPa |
| 最大差圧 | 1 MPa |
| 最高使用温度 | 50°C |
| 最大流量 | 2700 std L/min |
| ボディ材質 | 316L VARステンレス鋼 |
| 内部表面仕上げ | 0.13 µm Raの電解研磨仕上げ |
| エレメント | |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| パーティクル除去率 | 0.003 µmのパーティクルで99.999999 %を超える |
| エンド・コネクション | |
| タイプ | VCR面シール継手 |
| サイズ | 1/4 インチ、1/2 インチ、3/4 インチ |
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安全な製品の選定についてシステム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。 機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。 ご注意： 2個のフェルールを使用しているSwagelokチューブ継手は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。 |