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大流量。高温。高性能。

次世代の半導体製造は、ここから始まる-

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超高純度用(UHP)Swagelok ALD20バルブ

未来を見据えて

semiconductor ultrahigh purity clean room

ALD20 バルブによって、Swagelok 超高純度用 ALD バルブに求められている信頼性と性能を維持 しつつ、かつては対応が難しかった熱安定性や大流量にも道が開けるようになりました。ALD20 バルブでさまざまなプロセスや低蒸気圧のプリカーサーを試用することで、次世代のテクノロジー開発に欠かせない均一なガス蒸着を実現することも可能です。

大流量化/フットプリント(設置面積)の最小化

超高純度用ALD20バルブは、ALDバルブ技術のブレイクスルーとして、標準ALDバルブの2~3倍もの流量を実現しています。大きなプロセス変更を行うことなく、半導体デバイス・メーカーの処理能力の増強や効率性の向上に寄与します。

  • ALD20バルブの流量係数(Cv値)は1.2で、フットプリント(設置面積)は既存のALDバルブと同じ1.5 インチ・サイズのため、既存装置の改造を行うことなく、処理能力の増強を図ることができます。
  • フットプリントの幅が1.75 インチのALD20バルブもご用意しており、流量係数(Cv値)を最大1.7まで増やすことができます。これは、優れたサイクル・ライフを誇る超高純度用(UHP)バルブの中でも最高の数値となります。
  • 流量係数(Cv値)のカスタム設定も可能です。

妥協なき一貫性

ald20 ultrahigh purity valve

ALD20バルブは、長期にわたって優れたサイクル・ライフを実現します。その特長は以下の通りです:

  • アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます(使用温度範囲:10~200°C)。加熱の際に、アクチュエーターを取り外す必要はありません。その結果として、蒸着の均一性が向上したため、適切な流量を保持できる温度に低蒸気圧のプリカーサー・ガスを維持することが可能になりました。
  • ボディ材質は、316L VIM-VARステンレス鋼または合金22から選択可能で、耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能です。
  • 0.13 μm Raという高度な研磨を施したベローズを採用することで、超高サイクル・ライフにおいてもクリーンなオペレーションを促進し、プロセスの完全性を維持します。
  • エアー・アクチュエーターは、高速(10 ミリ秒未満)で繰り返し作動し、正確かつ一貫した流量を実現することで、投与要件に適合します。

仕様

最高使用圧力 真空~0.14 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.49~0.62 MPa
使用温度範囲 10~200°C
流量係数(Cv値) 1.2(集積モデル)または
1.7(ストレート型)
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼または合金22
ベローズ材質 合金22(0.13 µm Ra仕上げ)
エンド・コネクション
タイプ(サイズ) めすVCR®面シール継手(1/2 インチ)
回転可能型おすVCR面シール継手(1/2 インチ)
チューブ突き合わせ溶接、長さ:12.7 mm(1/2 インチ×肉厚1.24 mm)
集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ)

超高純度用(UHP)ALD20バルブは、一貫性や再現性はそのままで、半導体デバイス・メーカーの精度および性能の向上に寄与します。詳細につきましては、 スウェージロック指定販売会社 までお問い合わせください。

安全な製品の選定について:システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

ご注意:2個のフェルールを使用しているSwagelokチューブ継手は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。