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ダイヤフラム・バルブ

Diaphragm-Sealed Valves

Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を取り揃えており、高純度用途/超高純度用途でのお客さまのニーズにお応えします。

ダイヤフラム・バルブ:

  • 優れたサイクル・ライフと締め切りを実現
  • アクチュエーター・タイプ:手動式、空気作動式、ロック機能式など
  • さまざまなサイズ、材質、形状の製品がございます

スウェージロックのダイヤフラム・バルブ:

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原子層蒸着(ALD)用の超高純度用ダイヤフラム・バルブ をお探しですか?

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ(LDシリーズ)

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ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは流量係数(Cv値)が13まであり、材質や形状が豊富なため、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーションなど、さまざまな用途に対応することができます。

仕様

最高使用圧力 2.06 MPa
使用温度範囲 –28~148°C
流量係数(Cv値) 最大13
ボディ材質 CF3Mステンレス鋼(鋳造製)、316Lステンレス鋼(鍛造製/バー・ストック製)
ダイヤフラム材質 316Lステンレス鋼
エンド・コネクション
タイプ Swagelok®チューブ継手、おすVCR®面シール継手、NPTめねじ、ISO管用めねじ、チューブ短管
サイズ 1/4~1 インチ、12~25 mm

ダイヤフラム・バルブ(DL/DSシリーズ)

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ダイヤフラム・バルブ DL/DSシリーズは、パッキンを用いておらず、耐圧部材がすべて金属の高純度および超高純度用バルブです。最高使用圧力は24.1 MPaです。

仕様

最高使用圧力 24.1 MPa
使用温度範囲 –73~121°C
流量係数(Cv値) 最大0.30
ボディ材質 316Lステンレス鋼
ダイヤフラム材質 316ステンレス鋼
エンド・コネクション
タイプ Swagelokチューブ継手、VCR面シール継手、VCO®Oリング継手、チューブ突き合わせ溶接、チューブ差し込み溶接
サイズ 1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、6 mm、8 mm

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ(DRPシリーズ)

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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けのSEMI F57-0301に適合し、高性能を実現した設計により、たまり部分を最小限に抑え、高い耐久性を備えています。

仕様

最高使用圧力 0.68 MPa
流体温度範囲 23~100°C
流量係数(Cv値) 最大10.2
ボディ/ダイヤフラム材質 次世代PTFE
エンド・コネクション
タイプ フレアー継手(標準)、ISO管用ねじ、NPTねじ、Flowell(フロウエル)継手
サイズ 1/4 ~1 1/4 インチ、6~25 mm
種類 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)
1/4 回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ
空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)
空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)

大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ(DFシリーズ)

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ダイヤフラム・バルブ DFシリーズは、さまざまな超高純度用途および大流量用途向けに設計されています。流量係数(Cv値)は0.62で、大流量用エンド・コネクションを使用することができます。

仕様

使用圧力範囲 真空~2.06 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.50~0.68 MPa
使用温度範囲 –23~132°C
流量係数(Cv値) 0.62
ボディ材質 316L VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ HタイプVCR面シール継手、VCR面シール継手、チューブ突き合わせ溶接
サイズ 1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm

高性能スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ(DPシリーズ)

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316L VIM-VARステンレス鋼製のダイヤフラム・バルブ DPシリーズは、さまざまな超高純度用途に適しています。

仕様

使用圧力範囲 真空~21.0 MPa
最高破裂圧力 84.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.42~0.82 MPa
使用温度範囲 –23~150°C
流量係数(Cv値) 0.20、0.27
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ Swagelokチューブ継手、VCR面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル(MSM)
サイズ 1/4 インチ 、6 mm

スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ(1.125 インチ集積サイズ)、集積化ガス・システム用(DEシリーズ)

DEシリーズ・カタログ

スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズには、集積化ガス・システムのCシール/Wシール(1.125 インチ・サイズ)に対応する各種アクチュエーター・オプションがございます。

仕様

使用圧力範囲 真空~0.86 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲
ノーマル・クローズ型 0.41~0.82 MPa
ノーマル・オープン型/
ハイブリッド式(手動式
ロッキング・ハンドル/空気作動式)
0.41~0.62 MPa
使用温度範囲 –10~65°C
流量係数(Cv値) 0.3
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ 集積モデル(サイズ:1.125インチ)
ポート 2ポート、3ポート

サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ(DHシリーズ)

DHシリーズ・カタログ

DHシリーズ・サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高速での開閉が可能です。最大流量係数(Cv値)は0.60で、220℃までの高温環境に対応し、原子層蒸着(ALD)/プリカーサー供給用途の最適化に寄与します。サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのアクチュエーターには空気作動式/手動式があり、豊富なエンド・コネクション(1/4 インチ、3/8 インチ)を取り揃えています。

仕様

使用圧力範囲 真空~0.48 MPa
最高破裂圧力 22.0 MPa
アクチュエーター作動圧力範囲 0.41~0.62 MPa
使用温度範囲 20~220°C
流量係数(Cv値)
HタイプVCR®継手エンド・コネクション 0.60(20°Cにて)
0.40(220°Cにて)
VCR/その他すべてのエンド・コネクション 0.30(20°Cにて)
0.21(220°Cにて)
集積バルブ・ボディ 0.25(20°Cにて)
0.21(220°Cにて)
ボディ材質 316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質 コバルト基超合金
エンド・コネクション
タイプ VCR/HタイプVCRメタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積バルブ(MSM)
サイズ 1/4 インチ、 3/8 インチ
1.125 インチ、1.5 インチ(MSM)

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安全な製品の選定について:システム設計者およびユーザーは、製品カタログの内容をすべてご覧になった上で、安全な製品の選定を行ってください。安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データなどを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザーの責任ですので、十分にご注意ください。

⚠ 警告: スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネクションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わないでください。