alert icon

Данный сайт не поддерживается браузером Internet Explorer 8. Пожалуйста, обновите ваш браузер до более поздней версии или воспользуйтесь другим браузером.

Скрыть hide icon

Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

клапаны осаждения атомного слоя

Компания Swagelok является мировым техническим лидером и поставщиком решений в области производства полупроводниковых микросхем, а также создателем клапанной технологии ALD. Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания;
  • Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7;
  • работу с полным погружением при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами;
  • пригодность для применения в сверхчистых системах со стандартным корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR;
  • модульные соединения для монтажа на поверхность, соединения под приварку встык и торцевые соединения VCR®;
  • вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода.

КУПИТЬ ИЗДЕЛИЯ ALD3 И ALD6

Мембранные клапаны ALD3 и ALD6 сверхвысокой степени чистоты

Каталог изделий ALD3 и ALD6

Мембранные клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD) имеют сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания и коэффициенты расхода до 0,62, а термические приводы, датчики положения и электромагниты обеспечивают оптимальные характеристики в ALD системах.

Технические характеристики

Рабочее давление от вакуума до 145 фунтов на кв. дюйм, ман. (10,0 бар)
Давление разрыва 3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар)
Давление срабатывания от 50 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 3,5 до 6,2 бара)
Температура от 32 до 392 °F (от 0 до 200 °C)
Коэффициент расхода (Cv) 0,27 или 0,62
Материалы корпуса нерж. сталь 316L VIM-VAR
Материал мембраны специальный сплав на основе кобальта
Торцевые соединения
Тип (размер) фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма)
фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма)
модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма)

Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом

Каталог изделий ALD20

Клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты является самым свежим пополнением в семействе изделий Swagelok для атомно-слоевого осаждения (ALD). Заявленная на патент конструкция позволяет использовать сложные прекурсоры с низким давлением пара. Клапан ALD20 оснащен сильфоном сверхвысокой степени чистоты для обеспечения чистой работы и более интенсивного потока по сравнению с другими клапанами ALD.

Кроме того, клапан ALD20 является термостойким и может быть полностью погружен в газовую камеру с нагреванием в диапазоне температур от 50 °F (10 °C) до 392 °F (200 °C).

Технические характеристики

Рабочее давление от вакуума до 20 фунтов на кв. дюйм, ман. (1,4 бара)
Давление разрыва >3200 фунтов на кв. дюйм, ман. (220 бар)
Давление срабатывания от 70 до 90 фунтов на кв. дюйм, ман. (от 4,8 до 6,2 бара)
Температура от 50 до 392 °F (от 10 до 200 °C)
Коэффициент расхода (Cv) 1,2 (модульный монтаж на поверхность) или 1,7 (прямая конфигурация)
Материалы корпуса нерж. сталь 316L VIM-VAR или сплав 22
Материал сильфона сплав 22 (обработка со средней шероховатостью Ra 5 микродюймов (0,127 мкм))
Торцевые соединения
Тип (размер) фитинг VCR® с внутренней резьбой (1/2 дюйма)
поворотный фитинг VCR с наружной резьбой (1/2 дюйма)
соединение под приварку встык, длина 0,5 дюйма (1/2 х 0,049 дюйма)
модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (1,5 дюйма)

Расширьте границы технологии ALD

Загрузить каталог клапанов ALD сверхвысокой степени чистоты

Есть вопросы? Найти центр продаж и сервисного обслуживания.

Подбор изделий с учетом требований безопасности. Для того чтобы проектировщик системы и пользователь могли гарантированно выполнить подбор изделий с учетом требований безопасности, необходимо полностью проверить весь каталог продукции. При выборе изделий следует принимать во внимание всю систему в целом, чтобы обеспечить ее безопасную и бесперебойную работу. Соблюдение назначения устройств, совместимости материалов, надлежащих рабочих параметров, правильный монтаж, эксплуатация и обслуживание являются обязанностями проектировщика системы и пользователя.

⚠ ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ: Запрещается совместное использование и замена продуктов или компонентов Swagelok, на производство которых не распространяются отраслевые стандарты проектирования (в том числе торцевых соединений трубных обжимных фитингов Swagelok), продуктами или компонентами других производителей.