高纯
高纯过滤器
- 满足SEMI E49.8-96严格的超高纯气体系统的过滤要求（SCF系列）。
- 具有直通、全焊接结构（FW系列）。
全焊接直通型过滤器（FW系列）
规格
| 工作压力 | 达到6000 psig (413 bar) |
| 压差 | 达到600psi (41.3 bar) |
| 温度 | –20到900℉（–28到482℃） |
| 壳体材料 | 316不锈钢 |
| 滤芯 | |
| 材料 | 316L不锈钢烧结式或不锈钢折叠网式 |
| 标称孔径 | 0.5到15µm |
| 端接 | |
| 类型 | 世伟洛克卡套管接头、NPT、VCR®面密封接头 |
| 尺寸 | 1/4 in.; 6 mm |
超高纯（UHP）气体过滤器（SCF系列）
规格
| 工作压力 | 达到3000 psig (206 bar) |
| 压差 | 达到145 psi (10 bar) |
| 温度 | 达到122°F (50°C) |
| 最大流量 | 2700 std L/min |
| 壳体材料 | 316L VAR 不锈钢 |
| 内表面处理 | 电抛光, 5 µin (0.13 µm) Ra |
| 滤芯 | |
| 材料 | 高纯氧化铝 |
| 过滤等级 | > 99.999999 % at 0.003 µm |
| 端接 | |
| 类型 | VCR 面密封接头 |
| 尺寸 | 1/4, 1/2, 和3/4 in. |
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