高纯
高纯过滤器
- 满足SEMI E49.8-96严格的超高纯气体系统的过滤要求(SCF系列)。
- 具有直通、全焊接结构(FW系列)。
全焊接直通型过滤器(FW系列)
规格
工作压力 | 达到6000 psig (413 bar) |
压差 | 达到600psi (41.3 bar) |
温度 | –20到900℉(–28到482℃) |
壳体材料 | 316不锈钢 |
滤芯 | |
材料 | 316L不锈钢烧结式或不锈钢折叠网式 |
标称孔径 | 0.5到15µm |
端接 | |
类型 | 世伟洛克卡套管接头、NPT、VCR®面密封接头 |
尺寸 | 1/4 in.; 6 mm |
超高纯(UHP)气体过滤器(SCF系列)
规格
工作压力 | 达到3000 psig (206 bar) |
压差 | 达到145 psi (10 bar) |
温度 | 达到122°F (50°C) |
最大流量 | 2700 std L/min |
壳体材料 | 316L VAR 不锈钢 |
内表面处理 | 电抛光, 5 µin (0.13 µm) Ra |
滤芯 | |
材料 | 高纯氧化铝 |
过滤等级 | > 99.999999 % at 0.003 µm |
端接 | |
类型 | VCR 面密封接头 |
尺寸 | 1/4, 1/2, 和3/4 in. |
查看和购买我公司的产品
发现更多世伟洛克如何高效地为您工作,请浏览我们的产品目录或查找销售与服务中心。
安全的产品选择:请务必查看全部产品目录内容以保证系统设计者和用户进行安全的产品选择。选择产品时,必须考虑总体系统设计以保证获得安全的、无故障的性能。功能、材料兼容性、充分的额定值、正确的安装、使用和维护是系统设计者和用户的重要责任。 ⚠ 警告: 请勿将世伟洛克产品或不符合工业设计标准的元件(包括世伟洛克卡套管接头端接)与其他制造商的产品或元件混用或互换。 |